金融界2025年5月2日动静，专利摘要显示，使用材料公司申请一项名为“用于基板处置腔室的灯和窗设置装备摆设”的专利，灯包罗位于弓形地方启齿中的灯丝。灯胆管界定弓形地方启齿。公开号CN119908162A，本案涉及用于处置腔室的热源（例如，正在一或多个实施例中，以及相关方式。灯）及窗，申请日期为2023年9月。合用于半导体系体例制的灯包罗沿着弓形轮廓的至多一分段延长的灯胆管。灯包罗构成正在灯胆管的外概况的第一部门上的反射涂层。